多年的設(shè)備實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)
1.從工作原理上看光刻機(jī)和蝕刻機(jī)。如果把制造芯片比喻成蓋房子,那么光刻機(jī)的作用就是把房子的結(jié)構(gòu)標(biāo)注在地上??涛g機(jī)就是在光刻完成以后才登場的設(shè)備,也是光刻完成以后為重要的設(shè)備之一??涛g機(jī)主要的作用就是按照光刻機(jī)已經(jīng)標(biāo)注好的線去做基礎(chǔ)建設(shè),把不需要的地方給清除掉,只留下光刻過程中標(biāo)注好的線路。
2.結(jié)構(gòu)對比從結(jié)構(gòu)上來看光刻機(jī)和蝕刻機(jī)。光刻機(jī)的主要的核心技術(shù)就是光源和光路,其光源和光路的主要組成部分有四個(gè),光源、曝光、檢測、和其他高精密機(jī)械組成。對比之下,蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)組成就要簡單很多,主要是等離子體射頻源、反應(yīng)腔室和真空氣路等組成。
蝕刻機(jī)的工作內(nèi)容
蝕刻機(jī)主要由等離子體射頻源、反應(yīng)腔室和真空氣路等組成,主要的作用:光刻機(jī)把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上后,利用蝕刻機(jī)把不需要的地方給清除掉,只留下光刻過程中標(biāo)注好的線路、圖形等。
因此,在芯片制造環(huán)節(jié)中,光刻機(jī)完成了本身工作,就需要由蝕刻機(jī)來二次加工,形成一個(gè)完成的芯片制造工藝鏈??梢哉f,蝕刻機(jī)是光刻之后必不可少的設(shè)備,也是輔助光刻機(jī)工作的重要環(huán)節(jié)。